近年ナノテクノロジーの進化によって厚さが数～数十ナノメートルの薄膜が電子デバイス等に使用されるようになってきています。このような薄膜を分析し評価することは難しく、新しい分析法が求められています。私たちは加速器からのイオンビームを用いてこのような薄膜を分析する手法の研究を行っています。イオ ン計測、信号処理、データ処理等の技術開発を行いサブナノメートルの精度を持 つ薄膜分析技術の開発を目指しています。